第1168章 野田赌命锁死科考船（1/2）

命令如狂风骤雨！整个车间瞬间被点燃！所有人忘记了疲惫，忘记了怀疑，像奔向圣水的沙漠旅人！接线！调试！开机！

那小小的银灰色“黑盒子”被小心翼翼地接入光刻机主控系统庞大的接口阵列中。

嗡——

一声低沉的启动自检蜂鸣后。

嗡！！！！！

驱动供件台和掩模板的双工位精密伺服马达首次发出了极其悦耳柔和、如同龙脉苏醒的顺畅嗡鸣！

联接着两台工作台最高精度激光干涉仪的巨型监控屏幕骤然亮起！

无数代表着位置、速度、实时误差、温度补偿、微振动抵消效能的复杂曲线，如同被造物主亲手绘制、被无形的上帝之手梳理熨平，以前所未有的清晰、稳定、柔顺的方式舒展开来！流畅！高效！精准得令人灵魂颤栗！

动态位置误差峰峰值。

0.8纳米！

掩模同步补偿延迟。

微秒级！

稳定性冗余度。

120%！

远超之前任何理论预测！

远超ASML控制系统对外模糊公布的综合性能指标！

一个全新的、充满了龙夏风格的、为龙夏自研硬件平台量身定制的、拥有完全自主核心算法的“光刻机大脑”——在此刻诞生！

寂静！绝对的寂静！

然后——

轰！！！

不是欢呼！

而是一大片不由自主倒抽冷气的震撼声浪！如同台风过境！

所有人都盯着那屏幕上如同艺术般精确运行的数据曲线，如同目睹神迹降临！许多人捂住了嘴，眼泪不受控制地涌了出来！

袁涛死死盯着屏幕，身体僵硬如同石化，足足过了十几秒，他才抬起手，狠狠抹了一把脸，脸上分不清是汗水还是泪水。

他没有高喊，只是用尽全身力气，从喉咙深处挤出两个嘶哑到变调的字。

“真……行！”

整个光刻机所有硬件到软件、从材料到工艺、从光源到镜头的、最后一个！最坚固！最无形！也曾被认为最不可逾越的障碍——彻底崩塌！龙夏，完全实现了EUV光刻技术的全链条自主！

那条被西方吹嘘为需要集成全球数千家顶级供应商智慧的产业链神话，被龙夏独自击得粉碎！

一个月后。

龙夏部落腹地，深藏于群山环绕中的一体化军工厂，戒备最为森严的“甲字1号”芯片超洁净车间。淡黄色的无尘灯光像瀑布般均匀洒落，照亮着中央区域那个庞然大物。

那是整个龙夏工业皇冠上刚刚镶嵌上去的、最耀眼夺目的新星！

——“龙光刻-1号”。

由龙夏部落自主研发、自主知识产权的极紫外光刻整机！

它巨大的骨架银光流淌，复杂的管道与线缆如同精密的神经丛，巨大的真空腔体如同钢铁巨兽的心脏，而那经过无数次千锤百炼、最终稳定激射出纯粹13.5n极紫外光的光源核心，则散发着微微的幽蓝光芒。

两台工作台在磁悬浮轨道上待命微颤，等待着注入生命的指令。

空气中弥漫着一种无形的、令人心悸的静电场。没有欢呼，没有喧哗，所有穿着最高等级防尘服的研究员、工程师、军工厂的八级老师傅，全都屏息凝神，如同环绕着圣物的信徒。

苏定平站在主控台前，手指最终按下了启动键。

无声的洪流开始奔腾。

硅晶圆载入、真空舱闭合、激光预热、掩膜版精准对位……

极紫外光源骤然点亮！

那束无形的、足以刻画出星球文明新地图的光束，经过数十片自主生产、精度逆天的反射镜折射、聚焦，精准地投射在涂满光刻胶的硅片上！

刻蚀！显影！……

时间一分一秒在巨大的期待与死寂中流过。

当第一块完成光刻步骤的硅晶圆最终被机械臂取出发送到扫描式电子显微镜进行晶片在线图像检测时，所有人围拢到检测室的防尘门外，紧张地看着里面的操作员。

操作员的手指在精密控制台上移动着。扫描光束开始在硅片上纵横。

巨大的屏幕上，开始逐行显示出高精度的线条图像。

第一条……第三条……第十条……整个区域！

放大！再放大！

屏幕上最终定格在那令人目眩神迷的精密电路图案！

7晶体管！立体三维结构清晰！栅极清晰！沟道清晰！线条边缘锐利度超过预期！没有短路断路！完美！

自动分析软件飞速处理数据，最终在屏幕下方弹出一个刺眼夺目的绿色框体。

【综合良品率。92。1%！】

“成功了！！！”

“我们自己的EUV！自己造的7n芯片！”

“92%！92%！！！”

整个车间！不！整个军工厂！在这一刻彻底沸腾！失去了所有矜持！

掌声！撕心裂肺的哭喊声！疯狂的击打金属壁的撞击声！如同火山爆发般冲击着每个人的耳膜！

袁涛死死抓着旁边一个年轻研究员的手臂，因为用力过猛掐出了红印子还不自知，他老泪纵横，像个孩子一样嚎啕大哭！

他猛地转身，一把抓住旁边同样激动得浑身发抖、眼中含泪的郭雪云，指着站在人群中央、似乎被这巨大的喜悦冲击得有些茫然的苏定平，用尽此生最大的力气嘶吼。

“光刻机……光刻机之父！当之无愧！”

这称号如同电流般瞬间传遍！

“光刻机之父！”

“光刻机之父！！”

无数声音汇聚起来，充满了无限的敬仰和狂热！

欢呼持续了很久。

苏定平的心终于落回实处，疲惫如同潮水般再次涌上，但他嘴角的笑意却无法控制地扬起。

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